超精加工是采用装在振动头上的细粒度油石对精加工表面进行精整加工。砂带磨削是采用高速运转的环形砂带加工工件表面的磨削。镜面磨削是达到表面粗糙度的磨削方法。磨削后的工件，表面粗糙度不大于0.01微米，光如镜面，可以清晰成像。精密加工在制造业中处于十分重要的地位，常用于精密丝杠、精密齿轮、精密蜗轮、精密导轨和精密轴承等关键零件的加工。

精密加工工艺是指加工精度和表面光洁程度高于各相应加工方法精加工的各种加工工艺。精密加工工艺包括精密切削加工（如金刚镗、精密车削、宽刃精刨等）和高光洁高精度磨削。精密加工的加工精度一般在10~0.1μm，公差等级在IT5以上，表面粗糙度Ra在0.1μm以下。

高光洁高精度磨削同样要求机床有很高的精度和刚性，磨削过程是用经精细修整的砂轮，使每个磨粒上产生多个等高的微切削刃，以很小的磨削深度，在适当的磨削压力下，从工件表面切下很微细的切屑加上微切削刃呈微饨状态时的滑擦，挤压、抚平作用和多次无进给光磨阶段的摩擦抛光作用，从而获得很高的加工精度和物理机械性能良好的高光洁表面。综上所述，采用精密加工工艺可提高工件的加工精度和表面质量。

20世纪60年代为了适应核能、大规模集成电路、激光和航天等技术的需要而发展起来的精度的加工技术。超精密加工的精度比传统的精密加工提高了一个以上的数量级。到20世纪80年代，加工尺寸精度可达10纳米(1×10-8米)，表面粗糙度达1纳米。